
n. 微型电容器
微型电容器(microcapacitor)是一种基于微电子机械系统(MEMS)技术制造的极小尺寸电容器,其典型尺寸在微米至纳米量级。它通过两个导电层之间的绝缘介质存储电荷,具有高能量密度和快速充放电特性,适用于集成电路、射频通信等领域。
在材料选择上,微型电容器常采用氧化铝(Al₂O₃)、氮化硅(Si₃N₄)等高介电常数材料作为介质层,搭配石墨烯或碳纳米管电极以提升导电性。美国国家标准与技术研究院(NIST)的研究表明,这种结构可使单位面积电容值达到传统电容器的10倍以上($C = varepsilon_r varepsilon_0 A/d$)。
该器件在应用层面主要包含三大场景:
日本东京大学2023年在《自然·电子学》发表的论文验证了微型电容器在85°C高温下仍能保持90%初始容量,其循环寿命超过10⁶次。目前国际电子器件会议(IEDM)已将微型电容器列为下一代三维芯片集成关键技术之一。
microcapacitor是“微型电容器”的专业术语,由前缀micro-(微小)和capacitor(电容器)组成,指体积极小、用于存储电荷的电子元件。以下是详细解释:
如需进一步了解电容器的分类或制造工艺,和中的技术说明。
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