窺孔掩模英文解釋翻譯、窺孔掩模的近義詞、反義詞、例句

英語翻譯：

【計】 peephole mask

分詞翻譯：

窺孔的英語翻譯：

【化】 peephole; spy hole

掩模的英語翻譯：

【計】 masking

專業解析

窺孔掩模（Peephole Mask）是集成電路制造領域中的關鍵工藝裝備，指在光刻工序中用于選擇性遮擋光線的精密模闆。該術語由"窺孔"（peephole）與"掩模"（mask）複合構成，其中"窺孔"特指模闆上的微米級透光孔陣列，"掩模"則指通過遮擋實現圖形轉移的功能特性。

在半導體制造過程中，窺孔掩模通過以下兩種核心機制發揮作用：

1. 選擇性曝光：掩模上的微型孔洞允許紫外光穿透光刻膠，未被遮擋區域經顯影後形成電路圖案。這種圖形轉移精度可達納米級（IEEE标準文獻）。
2. 相位調控：先進掩模采用相移技術，通過控制孔洞深度調節光波相位，提升成像分辨率（《半導體制造技術手冊》第7版）。

該技術主要應用于動态隨機存儲器（DRAM）的三維結構刻蝕，以及FinFET晶體管的鳍片成形。加州大學伯克利分校微納制造實驗室的研究表明，現代窺孔掩模可包含超過10億個調控單元，支撐5納米以下制程的産業化應用。

行業标準規範參照國際半導體技術路線圖（ITRS）中關于光學臨近修正（OPC）的技術細則，其材料多采用熔融石英基闆鍍鉻膜層結構，熱膨脹系數需控制在0.05ppm/℃以内（SEMI标準F32-1109）。

網絡擴展解釋

“窺孔掩模”是一個組合詞，需拆解分析其含義：

1. 窺孔
   根據、、等來源，窺孔指一種透明的長方形窗口或嵌塊，用于觀察密閉空間内的物質或過程（如工業爐、檢測設備）。其核心功能是在封閉環境中提供可視化通道，例如高溫爐的觀察口或光學儀器的檢測窗。

2. 掩模
   在技術領域（如半導體、光學工程），掩模（Mask）通常指帶有特定圖案的模闆，用于遮擋或選擇性地透過光線、粒子等。例如光刻掩模用于芯片制造的圖案轉印。

3. 組合含義推測
   “窺孔掩模”可能指一種兼具觀察窗口與遮擋功能的裝置，常見于以下場景：

   • 工業檢測：掩模上設置窺孔，用于遮擋非檢測區域的同時，通過窗口實時觀察目标（如高溫反應過程）；
   • 光學系統校準：通過掩模的窺孔進行局部透光，輔助設備對準或參數調整（參考提到的“發光點利用自然光包圍窺孔”）；
   • 特殊工藝處理：在需要密閉操作的流程中，掩模既定義加工區域，又允許通過窺孔監控内部狀态。

4. 補充說明
   該詞暫無标準化定義，具體含義需結合上下文。若涉及技術文檔，建議進一步查閱相關領域資料，或聯繫使用該術語的具體設備說明。

分類

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