
【计】 peephole mask
【化】 peephole; spy hole
【计】 masking
窥孔掩模(Peephole Mask)是集成电路制造领域中的关键工艺装备,指在光刻工序中用于选择性遮挡光线的精密模板。该术语由"窥孔"(peephole)与"掩模"(mask)复合构成,其中"窥孔"特指模板上的微米级透光孔阵列,"掩模"则指通过遮挡实现图形转移的功能特性。
在半导体制造过程中,窥孔掩模通过以下两种核心机制发挥作用:
该技术主要应用于动态随机存储器(DRAM)的三维结构刻蚀,以及FinFET晶体管的鳍片成形。加州大学伯克利分校微纳制造实验室的研究表明,现代窥孔掩模可包含超过10亿个调控单元,支撑5纳米以下制程的产业化应用。
行业标准规范参照国际半导体技术路线图(ITRS)中关于光学临近修正(OPC)的技术细则,其材料多采用熔融石英基板镀铬膜层结构,热膨胀系数需控制在0.05ppm/℃以内(SEMI标准F32-1109)。
“窥孔掩模”是一个组合词,需拆解分析其含义:
窥孔
根据、、等来源,窥孔指一种透明的长方形窗口或嵌块,用于观察密闭空间内的物质或过程(如工业炉、检测设备)。其核心功能是在封闭环境中提供可视化通道,例如高温炉的观察口或光学仪器的检测窗。
掩模
在技术领域(如半导体、光学工程),掩模(Mask)通常指带有特定图案的模板,用于遮挡或选择性地透过光线、粒子等。例如光刻掩模用于芯片制造的图案转印。
组合含义推测
“窥孔掩模”可能指一种兼具观察窗口与遮挡功能的装置,常见于以下场景:
补充说明
该词暂无标准化定义,具体含义需结合上下文。若涉及技术文档,建议进一步查阅相关领域资料,或联系使用该术语的具体设备说明。
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