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窥孔掩模英文解释翻译、窥孔掩模的近义词、反义词、例句

英语翻译:

【计】 peephole mask

分词翻译:

窥孔的英语翻译:

【化】 peephole; spy hole

掩模的英语翻译:

【计】 masking

专业解析

窥孔掩模(Peephole Mask)是集成电路制造领域中的关键工艺装备,指在光刻工序中用于选择性遮挡光线的精密模板。该术语由"窥孔"(peephole)与"掩模"(mask)复合构成,其中"窥孔"特指模板上的微米级透光孔阵列,"掩模"则指通过遮挡实现图形转移的功能特性。

在半导体制造过程中,窥孔掩模通过以下两种核心机制发挥作用:

  1. 选择性曝光:掩模上的微型孔洞允许紫外光穿透光刻胶,未被遮挡区域经显影后形成电路图案。这种图形转移精度可达纳米级(IEEE标准文献)。
  2. 相位调控:先进掩模采用相移技术,通过控制孔洞深度调节光波相位,提升成像分辨率(《半导体制造技术手册》第7版)。

该技术主要应用于动态随机存储器(DRAM)的三维结构刻蚀,以及FinFET晶体管的鳍片成形。加州大学伯克利分校微纳制造实验室的研究表明,现代窥孔掩模可包含超过10亿个调控单元,支撑5纳米以下制程的产业化应用。

行业标准规范参照国际半导体技术路线图(ITRS)中关于光学临近修正(OPC)的技术细则,其材料多采用熔融石英基板镀铬膜层结构,热膨胀系数需控制在0.05ppm/℃以内(SEMI标准F32-1109)。

网络扩展解释

“窥孔掩模”是一个组合词,需拆解分析其含义:

  1. 窥孔
    根据、、等来源,窥孔指一种透明的长方形窗口或嵌块,用于观察密闭空间内的物质或过程(如工业炉、检测设备)。其核心功能是在封闭环境中提供可视化通道,例如高温炉的观察口或光学仪器的检测窗。

  2. 掩模
    在技术领域(如半导体、光学工程),掩模(Mask)通常指带有特定图案的模板,用于遮挡或选择性地透过光线、粒子等。例如光刻掩模用于芯片制造的图案转印。

  3. 组合含义推测
    “窥孔掩模”可能指一种兼具观察窗口与遮挡功能的装置,常见于以下场景:

    • 工业检测:掩模上设置窥孔,用于遮挡非检测区域的同时,通过窗口实时观察目标(如高温反应过程);
    • 光学系统校准:通过掩模的窥孔进行局部透光,辅助设备对准或参数调整(参考提到的“发光点利用自然光包围窥孔”);
    • 特殊工艺处理:在需要密闭操作的流程中,掩模既定义加工区域,又允许通过窥孔监控内部状态。
  4. 补充说明
    该词暂无标准化定义,具体含义需结合上下文。若涉及技术文档,建议进一步查阅相关领域资料,或联系使用该术语的具体设备说明。

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