
【化】 micro-area diffraction
decline; profound; tiny
【計】 mic-; micro-
【醫】 micr-; micro-; mikro-; mu
area; borough; classify; distinguish; district; region; section
【計】 region
【醫】 area; belt; field; quarter; regio; region; zona; zone
diffract; diffraction
【化】 diffraction
【醫】 diffraction
微區衍射(Micro-area Diffraction)是一種材料微觀結構分析技術,特指利用聚焦的電子束或X射線束在樣品極微小區域(通常為納米至微米尺度)内激發衍射信號,從而獲取該局部區域的晶體結構、取向或物相信息。以下是漢英詞典角度的詳細解釋:
微區衍射
核心含義:在微米或納米尺度上,通過衍射技術解析材料的晶體結構信息。
Micro-area Diffraction
技術本質:A technique enabling localized crystallographic analysis within sub-micron domains.
工作原理
通過電磁透鏡或光學系統将入射束聚焦至微小區域(束斑直徑可小至納米級),樣品局部晶格對入射束産生布拉格衍射,形成衍射斑點或環(圖1)。通過分析衍射角、斑點分布,可計算晶面間距、晶體取向及物相組成。
核心設備
核心應用
參數 | 微區衍射 | 傳統XRD(宏觀衍射) |
---|---|---|
分析區域 | 納米-微米級 | 毫米-厘米級 |
空間分辨率 | ≤ 1 nm (TEM) | ≥ 0.1 mm |
適用樣品 | 薄膜、納米顆粒、局部特征 | 塊體粉末、大體積均質材料 |
材料科學詞典
微區衍射指“利用聚焦探針在限定區域内獲取衍射信息的技術,適用于非均質材料的局部結構解析”。
來源:《材料分析技術大辭典》(科學出版社)
國際電子顯微學會定義
“Micro-area diffraction in TEM context refers to patterns obtained from regions less than 500 nm, enabling nanoscale phase identification.”
來源:International Federation of Societies for Microscopy (IFSM)
X射線衍射标準
“μ-XRD utilizes capillary optics or synchrotron beams to achieve spatial resolution of 10 μm, critical for heterogeneous samples.”
來源:International Centre for Diffraction Data (ICDD)
通過結合聚焦束技術與衍射原理,微區衍射填補了宏觀表征與原子尺度分析之間的空白,已成為材料科學、半導體工業及地質學中不可或缺的微納結構解析工具。
微區衍射(Micro X-ray Diffraction,μXRD)是一種基于X射線衍射原理的高分辨率分析技術,主要用于對微小區域(通常為微米級)的晶體結構進行局部化檢測。以下從定義、技術特點和應用三個方面詳細解釋:
微區衍射是X射線衍射(XRD)的衍生技術,其核心是通過聚焦X射線束(直徑可小至50 μm)對樣品微小區域進行掃描,獲取局部晶體結構信息(如物相組成、晶格應變等)。衍射現象本身指波(如X射線)遇到障礙物或孔隙時發生繞射和散射的特性,當障礙物/孔隙尺寸與波長相近時尤為顯著()。
普通XRD與微區XRD的關鍵區别在于光束尺寸和分析範圍。前者通常用于宏觀均質樣品,後者則針對微觀非均質區域()。相關技術細節可參考馬爾文帕納科或材料測試文獻。
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