等平面
isoplanar是由希臘詞根“iso-”（意為“相等”）和拉丁詞源“planar”（意為“平面的”）組成的複合詞，指“處于同一平面”或“平面結構相同”的特性。該術語廣泛應用于電子工程、材料科學及幾何學領域。
在半導體制造中，isoplanar工藝指通過化學機械抛光等技術，使集成電路中不同元件（如晶體管、電阻等）形成于同一平面上，從而減少表面不平整導緻的電氣性能差異。例如，美國斯坦福大學《納米制造技術》課程指出，isoplanar結構能有效降低寄生電容，提升芯片可靠性（參考：https://nano.stanford.edu）。
幾何學中，isoplanar描述多個點或線在三維空間内共面的特性。劍橋大學數學系教材《解析幾何基礎》提到，isoplanar判定是空間向量線性相關的重要應用之一（參考：https://www.maths.cam.ac.uk/undergrad/）。
該術語還延伸至光學領域，指光學系統中多個反射面或透鏡共平面的設計，此類設計可減少像差。德國馬普光學研究所2022年發布的《先進光學系統白皮書》列舉了isoplanar鏡組在太空望遠鏡中的實踐案例（參考：https://www.mpg.de/photonics）。
單詞isoplanar 是電子工程和材料科學領域的專業術語，主要含義為“等平面的”或“同平面的”，指多個結構或元件在制造過程中保持同一平面或高度。以下為詳細解釋：
核心定義
“iso-”前綴源自希臘語，意為“相等的”，與“planar”（平面的）結合，表示物體在空間布局上處于同一平面或具有相同的幾何高度。例如，在半導體工藝中，isoplanar 技術可确保不同元件在基闆上形成時保持平面一緻性。
應用場景
常見于集成電路制造，如isoplanar oxide-isolation（等平面氧化物隔離），用于通過氧化層隔離不同電子元件，避免高度差導緻的性能問題。此外，該詞也可描述光學元件或機械結構的平面排布。
補充說明
其反義詞為“non-planar”（非平面的），而近義詞“planar”僅指單一平面屬性，不強調“等同性”。
如果需要進一步了解技術案例或相關術語，可參考電子工程領域的專業文獻。
【别人正在浏覽】