等平面
isoplanar是由希腊词根“iso-”（意为“相等”）和拉丁词源“planar”（意为“平面的”）组成的复合词，指“处于同一平面”或“平面结构相同”的特性。该术语广泛应用于电子工程、材料科学及几何学领域。
在半导体制造中，isoplanar工艺指通过化学机械抛光等技术，使集成电路中不同元件（如晶体管、电阻等）形成于同一平面上，从而减少表面不平整导致的电气性能差异。例如，美国斯坦福大学《纳米制造技术》课程指出，isoplanar结构能有效降低寄生电容，提升芯片可靠性（参考：https://nano.stanford.edu）。
几何学中，isoplanar描述多个点或线在三维空间内共面的特性。剑桥大学数学系教材《解析几何基础》提到，isoplanar判定是空间向量线性相关的重要应用之一（参考：https://www.maths.cam.ac.uk/undergrad/）。
该术语还延伸至光学领域，指光学系统中多个反射面或透镜共平面的设计，此类设计可减少像差。德国马普光学研究所2022年发布的《先进光学系统白皮书》列举了isoplanar镜组在太空望远镜中的实践案例（参考：https://www.mpg.de/photonics）。
单词isoplanar 是电子工程和材料科学领域的专业术语，主要含义为“等平面的”或“同平面的”，指多个结构或元件在制造过程中保持同一平面或高度。以下为详细解释：
核心定义
“iso-”前缀源自希腊语，意为“相等的”，与“planar”（平面的）结合，表示物体在空间布局上处于同一平面或具有相同的几何高度。例如，在半导体工艺中，isoplanar 技术可确保不同元件在基板上形成时保持平面一致性。
应用场景
常见于集成电路制造，如isoplanar oxide-isolation（等平面氧化物隔离），用于通过氧化层隔离不同电子元件，避免高度差导致的性能问题。此外，该词也可描述光学元件或机械结构的平面排布。
补充说明
其反义词为“non-planar”（非平面的），而近义词“planar”仅指单一平面属性，不强调“等同性”。
如果需要进一步了解技术案例或相关术语，可参考电子工程领域的专业文献。
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