英:/'ɪlɪp'sɒmɪtə/
n. 橢圓率計；橢圓計；橢圓偏振計；偏振光橢圓率測量儀
Rotating element ellipsometer is one of photometric ellipsometer.
旋轉元件式橢圓偏振儀，是一種光度式橢偏儀。
The thicknesses of the thin films are measured by spectroscopic ellipsometer.
用光譜式橢偏儀對薄膜的厚度進行了測試。
The invention relates to a useful improvement of an ellipsometer-type device.
本發明涉及一種屬于橢圓計一類的裝置的有利的改進方案。
A new type of infrared spectroscopic ellipsometer has been designed and constructed.
介紹一種新型紅外橢圓偏振光譜實驗系統。
This can afford the theoretical and experimental proof for adjusting ellipsometer rapidly.
為迅速調整好橢偏儀提供了理論和實驗依據。
橢偏儀（Ellipsometer）是一種用于測量材料光學特性的精密儀器，主要分析光與物質相互作用後偏振狀态的變化，以确定薄膜厚度、折射率、消光系數等參數。其工作原理基于橢圓偏振光在樣品表面反射或透射時，振幅比（Ψ）和相位差（Δ）的變化。通過數學模型（如菲涅爾方程）拟合實驗數據，可推導出材料的光學常數。
基本原理
橢偏儀通過發射已知偏振态的光束至樣品表面，檢測反射或透射後的偏振變化。根據浙江大學光學儀器國家重點實驗室的公開資料，這一過程涉及對p波和s波的振幅衰減與相位延遲的精确測量。
關鍵參數計算
測量結果通過以下公式解析光學常數： $$ tanΨ = frac{|r_p|}{|r_s|}, quad Δ = δ_p - δ_s $$ 其中( r_p )和( r_s )分别為p偏振和s偏振的複反射系數，Ψ和Δ共同描述材料的光學響應。
工業與科研應用
根據中國計量科學研究院的行業報告，橢偏儀廣泛應用于：
現代橢偏儀技術起源于19世紀末Paul Drude的電磁理論研究。美國國家标準與技術研究院（NIST）的文獻指出，20世紀70年代激光器和計算機技術的引入顯著提升了測量精度與自動化水平。國際标準化組織ISO 14707:2022已将橢偏法列為薄膜厚度測量的基準方法之一。
ellipsometer（橢偏儀）是一種用于測量材料光學特性的精密儀器，其核心功能是通過分析偏振光在樣品表面反射後的偏振态變化，獲取薄膜厚度、折射率等關鍵參數。以下是詳細解析：
基本定義與發音
工作原理
橢偏儀通過發射偏振光束到樣品表面，檢測反射後光的偏振态變化（包括振幅比Ψ和相位差Δ）。這些變化與樣品的薄膜厚度、光學常數（如折射率、消光系數）直接相關，通過穆勒矩陣等數學模型進行拟合分析。
主要應用領域
技術類型
常見類型包括光譜型橢偏儀（覆蓋190-1650 nm寬光譜）和旋轉補償器型（如雙旋轉補償器技術，可采集16個穆勒矩陣參數，提升測量精度）。
核心參數
測量結果通常以Ψ（振幅比）和Δ（相位差）表示，通過橢圓偏振方程（如 $tanPsi e^{iDelta} = frac{r_p}{r_s}$）關聯樣品的反射系數，進而推導出材料屬性。
擴展建議：如需了解具體設備的技術指标或測量公式推導，可參考光學工程專業文獻或廠商技術手冊。
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