英:/'ɪlɪp'sɒmɪtə/
n. 椭圆率计；椭圆计；椭圆偏振计；偏振光椭圆率测量仪
Rotating element ellipsometer is one of photometric ellipsometer.
旋转元件式椭圆偏振仪，是一种光度式椭偏仪。
The thicknesses of the thin films are measured by spectroscopic ellipsometer.
用光谱式椭偏仪对薄膜的厚度进行了测试。
The invention relates to a useful improvement of an ellipsometer-type device.
本发明涉及一种属于椭圆计一类的装置的有利的改进方案。
A new type of infrared spectroscopic ellipsometer has been designed and constructed.
介绍一种新型红外椭圆偏振光谱实验系统。
This can afford the theoretical and experimental proof for adjusting ellipsometer rapidly.
为迅速调整好椭偏仪提供了理论和实验依据。
椭偏仪（Ellipsometer）是一种用于测量材料光学特性的精密仪器，主要分析光与物质相互作用后偏振状态的变化，以确定薄膜厚度、折射率、消光系数等参数。其工作原理基于椭圆偏振光在样品表面反射或透射时，振幅比（Ψ）和相位差（Δ）的变化。通过数学模型（如菲涅尔方程）拟合实验数据，可推导出材料的光学常数。
基本原理
椭偏仪通过发射已知偏振态的光束至样品表面，检测反射或透射后的偏振变化。根据浙江大学光学仪器国家重点实验室的公开资料，这一过程涉及对p波和s波的振幅衰减与相位延迟的精确测量。
关键参数计算
测量结果通过以下公式解析光学常数： $$ tanΨ = frac{|r_p|}{|r_s|}, quad Δ = δ_p - δ_s $$ 其中( r_p )和( r_s )分别为p偏振和s偏振的复反射系数，Ψ和Δ共同描述材料的光学响应。
工业与科研应用
根据中国计量科学研究院的行业报告，椭偏仪广泛应用于：
现代椭偏仪技术起源于19世纪末Paul Drude的电磁理论研究。美国国家标准与技术研究院（NIST）的文献指出，20世纪70年代激光器和计算机技术的引入显著提升了测量精度与自动化水平。国际标准化组织ISO 14707:2022已将椭偏法列为薄膜厚度测量的基准方法之一。
ellipsometer（椭偏仪）是一种用于测量材料光学特性的精密仪器，其核心功能是通过分析偏振光在样品表面反射后的偏振态变化，获取薄膜厚度、折射率等关键参数。以下是详细解析：
基本定义与发音
工作原理
椭偏仪通过发射偏振光束到样品表面，检测反射后光的偏振态变化（包括振幅比Ψ和相位差Δ）。这些变化与样品的薄膜厚度、光学常数（如折射率、消光系数）直接相关，通过穆勒矩阵等数学模型进行拟合分析。
主要应用领域
技术类型
常见类型包括光谱型椭偏仪（覆盖190-1650 nm宽光谱）和旋转补偿器型（如双旋转补偿器技术，可采集16个穆勒矩阵参数，提升测量精度）。
核心参数
测量结果通常以Ψ（振幅比）和Δ（相位差）表示，通过椭圆偏振方程（如 $tanPsi e^{iDelta} = frac{r_p}{r_s}$）关联样品的反射系数，进而推导出材料属性。
扩展建议：如需了解具体设备的技术指标或测量公式推导，可参考光学工程专业文献或厂商技术手册。
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