
【计】 ***lectric process
interpose; mind; shell; take seriously; upright
【化】 meso-; meta-
【医】 carapace
electricity
【计】 telewriting
【化】 electricity
【医】 Elec.; electricity; electro-; galvano-
craft; technics; technology
【计】 MOS technology
【化】 methodology
【经】 technology
介电工艺(Dielectric Process)是电子工程与材料科学中的核心概念,指在制造电子器件(如集成电路、电容器)时,对绝缘性材料(介电材料)进行沉积、刻蚀、图形化等处理的技术总称。以下从汉英词典角度分层解析:
“介电”指材料在电场作用下产生电极化但不导电的特性;“工艺”指加工方法。合指利用绝缘材料的极化特性实现电子功能的制造技术。
Dielectric Process(介电工艺)—— Dielectric(介电体:绝缘且可极化的材料)+ Process(加工流程)。
关键特性:高绝缘性(High Insulation)、可调控介电常数(Adjustable Permittivity)、低介电损耗(Low Loss Tangent)。
利用光刻和干法刻蚀(如等离子刻蚀)在介电层上开孔,实现金属互连结构的绝缘隔离。
掺杂(如掺碳二氧化硅)或堆叠高κ材料(HfO₂、Al₂O₃),降低寄生电容并增强器件性能。
栅极介电层(如Intel 7nm工艺使用High-κ金属栅)控制晶体管开关。
钛酸钡(BaTiO₃)介电层的印刷与烧结工艺决定电容密度。
氮化硅介电膜用于传感器绝缘支撑结构。
$$ E{text{break}} = frac{V{text{bd}}}{d} $$
其中 ( V_{text{bd}} ) 为击穿电压,( d ) 为介电层厚度。
参考文献
“介电工艺”的英文翻译为dielectric process,其核心含义与介电材料的加工技术相关。以下是综合解释:
如需具体工艺步骤或案例,可提供更详细的应用场景以便定向补充。
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