
【計】 ***lectric process
interpose; mind; shell; take seriously; upright
【化】 meso-; meta-
【醫】 carapace
electricity
【計】 telewriting
【化】 electricity
【醫】 Elec.; electricity; electro-; galvano-
craft; technics; technology
【計】 MOS technology
【化】 methodology
【經】 technology
介電工藝(Dielectric Process)是電子工程與材料科學中的核心概念,指在制造電子器件(如集成電路、電容器)時,對絕緣性材料(介電材料)進行沉積、刻蝕、圖形化等處理的技術總稱。以下從漢英詞典角度分層解析:
“介電”指材料在電場作用下産生電極化但不導電的特性;“工藝”指加工方法。合指利用絕緣材料的極化特性實現電子功能的制造技術。
Dielectric Process(介電工藝)—— Dielectric(介電體:絕緣且可極化的材料)+ Process(加工流程)。
關鍵特性:高絕緣性(High Insulation)、可調控介電常數(Adjustable Permittivity)、低介電損耗(Low Loss Tangent)。
利用光刻和幹法刻蝕(如等離子刻蝕)在介電層上開孔,實現金屬互連結構的絕緣隔離。
摻雜(如摻碳二氧化矽)或堆疊高κ材料(HfO₂、Al₂O₃),降低寄生電容并增強器件性能。
栅極介電層(如Intel 7nm工藝使用High-κ金屬栅)控制晶體管開關。
钛酸鋇(BaTiO₃)介電層的印刷與燒結工藝決定電容密度。
氮化矽介電膜用于傳感器絕緣支撐結構。
$$ E{text{break}} = frac{V{text{bd}}}{d} $$
其中 ( V_{text{bd}} ) 為擊穿電壓,( d ) 為介電層厚度。
參考文獻
“介電工藝”的英文翻譯為dielectric process,其核心含義與介電材料的加工技術相關。以下是綜合解釋:
如需具體工藝步驟或案例,可提供更詳細的應用場景以便定向補充。
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