英:/'ɪlɪp'sɒmɪtrɪ/ 美:/'ɪlepˈsɑːmətrɪ/
n. 椭圆对称；椭圆光度法，[光] 椭圆测量术
The measuring condition for principle Angle in spectroscopic ellipsometry is analyzed.
对椭圆偏振光谱中的主角测量条件进行了分析。
Paints quality, Plastics, Polymer, Optical Brighteners and Phosphor Coatings ( Ellipsometry )
油漆质量，塑料，聚合物，荧光增白剂和磷涂层（椭圆偏振仪）
Accurate measurement of its retardation by ellipsometry prove the rationality of its structure design.
椭偏术对其相延测量的实验结果，验证了这种波片结构设计的合理性。
A ****** method using spectroscopic ellipsometry to measure uniaxial liquid crystal layer is introduced.
探讨了利用普通光谱型椭偏仪对各向异性液晶层进行综合性测量的可行性。
The structure of the laser crystallized poly-Si thin film is analyzed by using spectroscopic ellipsometry.
采用椭偏光谱法分析了薄膜的结构，并提出多层膜模型模拟薄膜结构。
椭偏仪（Ellipsometry）是一种基于偏振光分析的非破坏性光学测量技术，主要用于表征材料表面的光学特性与微观结构。其核心原理是通过测量偏振光在样品表面反射或透射后偏振状态的变化，推导出材料的复折射率、薄膜厚度、粗糙度等参数（美国国家标准与技术研究院，NIST）。该技术对纳米级薄膜的灵敏度可达亚埃级别，因此在半导体、光学镀膜、生物传感等领域具有重要应用（国际光学工程学会，SPIE）。
椭偏仪的工作机制基于菲涅尔方程和麦克斯韦方程组。当线偏振光以特定角度入射时，样品引起的p偏振光与s偏振光的振幅比（Ψ）和相位差（Δ）会发生变化。通过建立这两个参数与材料属性的数学关系模型，可精确解算待测参数（光学学会，OSA）。现代椭偏仪已发展出光谱型、成像型等多种变体，其中光谱椭偏仪可覆盖紫外到红外波段，实现宽光谱范围内的材料特性分析（《应用表面科学》期刊）。
该技术的核心优势在于其非接触测量特性与高精度量化能力。例如在芯片制造中，椭偏仪可实时监测晶圆表面氧化层厚度，控制精度优于0.1纳米。在生物医学领域，可通过测量抗体-抗原结合引起的折射率变化进行无标记检测（《材料表征手册》，Elsevier）。
ellipsometry（椭圆光度法）是一种用于测量材料表面光学特性的精密技术，以下是详细解释：
词源与发音
核心定义 指通过分析偏振光在材料表面反射或透射后形成的椭圆偏振态变化，来测定薄膜厚度、光学常数（如折射率、消光系数）等参数的技术。中文常见译法包括：
典型应用领域
技术优势 相比传统光学测量，可非破坏性获取亚纳米级精度数据，特别适合透明/半透明薄膜分析。
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