
【機】 leer pan
anneal
【計】 annealing
【化】 anneal(ing)
【醫】 anneal; annealing
check; game; set; tray
【計】 spool
【醫】 disc; disci; disco-; discus; disk; orbiculus; pan; tray
退火盤(Annealing Tray)是工業熱處理領域的重要設備組件,主要用于半導體制造、金屬加工等場景。該術語在《漢英綜合科技大詞典》中被定義為"用于承載材料并控制退火過程的盤狀容器",英文對應詞為"annealing tray"或"annealing boat"。
根據美國材料與試驗協會(ASTM)标準文件,退火盤需具備耐高溫(通常≥1000℃)、低熱膨脹系數和化學穩定性等特性。在晶圓制造過程中,它作為矽片的支撐載體,需配合惰性氣體環境實現均勻散熱,消除材料内部應力。
中國機械工程學會發布的《熱處理技術手冊》指出,退火盤的幾何設計直接影響材料微觀結構重組效果,常見形态包括:
該設備材質選擇依據《金屬熱處理學報》研究,多采用碳化矽複合材料或钼合金制造,以确保在循環熱負荷下的結構完整性。在質量控制方面需符合ISO 9001:2015體系對熱工設備的溫度均勻性認證标準。
“退火盤”是金屬加工領域的專業術語,其含義可從以下角度解析:
一、核心定義 指工業生産中用于承載金屬材料進行退火工藝的容器或托盤。退火是一種通過加熱後緩慢冷卻來消除材料内應力、改善機械性能的熱處理工藝。
二、術語構成
三、英文對應 專業文獻中常見兩種譯法:
四、應用場景 主要用于金屬加工領域,如:
注:具體規格參數需參考行業标準文件,不同材質的退火盤(如石墨盤、陶瓷盤)適用于不同工藝場景。
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