英語翻譯：

【電】 radio-frequency power supply

分詞翻譯：

射頻的英語翻譯：

【計】 radio frequency; RF
【醫】 radio frequency

高壓電的英語翻譯：

【醫】 high tension electricity

源的英語翻譯：

fountainhead; source
【醫】 source

專業解析

射頻高壓電源（Radio Frequency High Voltage Power Supply）是結合射頻技術與高壓電源特性的複合型電子設備，其核心功能是将輸入電能轉換為高頻（通常為3 kHz至300 GHz）高壓交流輸出。該設備在電磁場控制、能量傳輸效率及穩定性方面具有特殊設計要求。

技術參數特征

典型輸出參數包括：

• 頻率範圍：13.56 MHz（工業标準頻段）至27.12 MHz
• 輸出電壓：1 kV至50 kV（峰峰值）
• 功率容量：300 W至20 kW
• 波形調制能力：支持脈沖、連續波等多種模式

核心組件構成

系統由射頻振蕩器、高壓變壓器、阻抗匹配網絡和反饋控制模塊構成。其中，三級真空管放大電路或固态MOSFET拓撲結構是實現高頻升壓的關鍵，其轉換效率可達85%-92%（來源：IEEE Transactions on Power Electronics）。

典型應用場景

1. 等離子體生成：在半導體刻蝕設備中，通過13.56 MHz射頻高壓電離工藝氣體（參考：Applied Materials技術白皮書）
2. 醫療成像系統：用于X射線管的高壓脈沖驅動，确保毫秒級快速響應（來源：Siemens醫療設備手冊）
3. 粒子加速器：提供高頻諧振腔所需的同步加速電壓（數據引自CERN技術報告）

安全規範要求

需符合IEC 61010-2-034高壓設備安全标準，包含雙重絕緣設計、電弧防護機制及接地漏電流監測功能（依據UL認證規範）。

網絡擴展解釋

射頻高壓電源是一種結合了射頻（高頻交流電）特性和高壓輸出能力的複合型電源設備，其核心功能是同時實現高頻振蕩與高電壓輸出，主要用于特殊工業或科研場景。以下從定義、技術特點及應用三方面進行詳細解析：

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一、定義與工作原理

1. 射頻（RF）特性
   射頻指頻率範圍在300 kHz 至 30 GHz 的高頻交流電（參考）。射頻電源通過高頻振蕩電路将直流電轉換為高頻交流電，典型頻率如13.56 MHz 或40.68 MHz（）。

2. 高壓輸出
   高壓電源通常指輸出電壓超過5 kV 的直流或交流電源，部分設備可達數萬伏（）。射頻高壓電源需同時滿足高頻和高電壓的輸出要求，例如在等離子體生成中，既需高頻電場電離氣體，又需高壓維持放電（）。

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二、技術特點

• 高頻與高壓結合：通過高頻變壓器、阻抗匹配器等組件協調高頻與高壓輸出，避免能量損耗（）。
• 穩定性要求高：需精确控制頻率和電壓，防止電弧或擊穿現象（）。
• 模塊化設計：通常由射頻功率源、匹配器和功率計組成，便于適配不同設備（）。

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三、典型應用領域

1. 等離子體加工
   如半導體制造中的PECVD（等離子體增強化學氣相沉積） 和反應離子刻蝕，需高頻激發等離子體并維持高電場強度（）。
2. 醫療設備
   射頻美容儀或腫瘤消融設備中，利用高頻高壓電場産生熱效應（）。
3. 科研實驗
   高能物理實驗或材料表面處理，需同時調節頻率與電壓參數（）。

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補充說明

目前“射頻高壓電源”并非标準化術語，更多是兩類技術的結合應用。實際設備需根據需求定制，例如在等離子體腔體中，射頻電源通過匹配器與負載耦合，而高壓可能由獨立模塊提供（）。如需具體産品參數，建議查閱廠商資料或行業标準。

分類

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