深冷泵英文解釋翻譯、深冷泵的近義詞、反義詞、例句

英語翻譯：

【化】 cryogenic pump; cryopump

分詞翻譯：

深的英語翻譯：

close; dark; deep; deepness; late; profound; profundity; very
【醫】 batho-; bathy-

冷的英語翻譯：

cold; cold in manner; shot from hiding
【醫】 algor; cry-; crymo-; cryo-; krymo-; kryo-; psychro-

泵的英語翻譯：

pump
【化】 pump
【醫】 pump

專業解析

深冷泵（shēn lěng bèng），英文為Cryopump 或Cryogenic Pump，是一種利用極低溫（通常在 20 K [-253°C] 以下）表面來凝結或吸附氣體分子，從而在密閉容器（如真空室）内實現和維持高真空或超高真空環境的特種真空泵。

其核心原理和工作過程如下：

1. 低溫氣體捕集： 深冷泵内部裝有冷卻至極低溫度的冷闆（通常由二級制冷機制冷，第一級約 15 K，第二級約 10-12 K）。當氣體分子與這些超低溫表面碰撞時，其動能急劇降低，氣體分子被凝結（對于可凝性氣體如水蒸氣、油蒸氣）或通過物理吸附（對于非凝性氣體如氮氣、氧氣、氫氣、氦氣）固定在冷表面上，從而被有效移除。
2. 再生過程： 隨着吸附的氣體增多，冷闆的吸附能力會飽和。此時需要關閉泵的制冷系統，讓冷闆升溫（“再生”），使捕集的氣體解吸釋放出來。釋放的氣體被前級泵（通常是機械泵或幹泵）抽走。再生完成後，制冷系統重新啟動，冷闆再次降溫，泵恢複工作能力。

主要特點與應用：

• 極限真空高： 能獲得極高真空（通常優于 10⁻⁸ Pa 甚至 10⁻¹⁰ Pa），是獲得超高真空的關鍵設備之一。
• 抽速大： 特别是對于氫氣、氦氣等難以被其他類型真空泵有效抽除的氣體，深冷泵具有很高的抽氣速度。
• 清潔無油： 整個抽氣過程在低溫下通過物理吸附/凝結完成，無需油作為工作介質，避免了油蒸氣污染，特别適用于對潔淨度要求極高的場合。
• 主要應用領域：
  • 半導體制造： 芯片制造中的光刻、刻蝕、薄膜沉積（如PVD, CVD）等工藝設備。
  • 表面科學分析： 掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）、X射線光電子能譜（XPS）、俄歇電子能譜（AES）等超高真空分析設備。
  • 高能物理與核聚變研究： 粒子加速器、托卡馬克裝置等需要極高真空環境的實驗設施。
  • 航天模拟： 空間環境模拟艙。
  • 平闆顯示制造： OLED、LCD 生産過程中的真空工藝。

權威參考來源建議：

由于無法提供實時有效的特定網頁鍊接，以下建議查閱這些公認權威的工程與科學資源獲取更深入的技術細節、标準規範和廠商數據：

1. 專業真空技術手冊與教科書： 如 Foundations of Vacuum Science and Technology (Lafferty, J. M. Ed.)，或國内出版的《真空設計手冊》、《真空獲得設備》等。
2. 國際标準組織： 國際标準化組織（ISO）關于真空技術的标準文件（如 ISO 21360 系列）。
3. 行業領先制造商的技術白皮書與産品手冊： 如 Edwards Vacuum, Leybold, Pfeiffer Vacuum, SHI Cryogenics Group 等公司官網發布的技術文檔（搜索 “Cryopump Technical Note”, “Cryopump Principles” 等）。
4. 學術期刊： Journal of Vacuum Science & Technology A/B (AVS 出版)，Vacuum (Elsevier) 等期刊發表的同行評議論文。
5. 中國國家标準： 查詢國家标準化管理委員會網站關于真空泵的相關标準。

（注：以上解釋基于通用的工程與科學知識。具體深冷泵的設計參數、性能指标和操作細節需參考制造商的具體技術資料和相關的工程标準。）

網絡擴展解釋

深冷泵是一種在極低溫環境下（通常低于-100℃）運行的泵類設備，主要用于輸送或處理液化氣體（如液氧、液氮、液态天然氣等）或在高真空系統中捕集殘餘氣體。以下是其核心概念及分類的詳細解釋：

一、定義與核心特點

1. 低溫環境
   深冷泵的工作溫度範圍通常為-100℃至-200℃，部分設備可達-162℃甚至更低。例如，液化天然氣（LNG）泵需在-162℃下運行。

2. 應用領域
   包括空分裝置（氧氣、氮氣液化）、石油化工（乙烯、丙烯輸送）、LNG接收站、真空系統（如半導體制造、科研設備）等。

二、分類與工作原理

1. 按用途分類

   • 流程泵：用于工業主流程介質輸送，如空分裝置中的液氧（LO₂）、液氮（LN₂）輸送，流量可達2500 L/min，壓力達16 MPa。
   • 輸送泵：如LNG高壓泵，用于液化天然氣儲運，采用靜密封設計以防止洩漏。
   • 捕集泵：用于真空系統，通過-120℃以下的制冷盤管冷凝殘餘氣體（如水蒸氣、油蒸氣），提升真空度至10⁻⁸ Torr。

2. 按結構分類
   包括離心式、軸流式、混流式等，其中離心式因高效和緊湊設計應用最廣。

三、關鍵技術特性

• 密封與材料：采用迷宮密封、靜密封或無洩漏結構，并選用耐低溫材料（如不鏽鋼、特殊合金）。
• 溫度控制：配備軸承加熱系統、溫度探頭及氮氣吹掃裝置，防止結冰和潮氣侵入。
• 安全設計：如液氧泵需設置防爆結構和集油裝置，确保氧環境下的安全性。

四、典型參數示例

以COOL3000H型深冷泵為例，其最低溫度可達-150℃，制冷量3500 W，適用于實驗室或工業真空系統。

深冷泵通過耐低溫材料、高效密封和精準溫控技術，在極端環境下實現介質的可靠輸送或氣體捕集，是化工、能源、科研等領域的關鍵設備。如需更完整的分類或技術參數，可參考行業報告。

分類

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