前級泵英文解釋翻譯、前級泵的近義詞、反義詞、例句

英語翻譯：

【化】 backing pump

分詞翻譯：

前的英語翻譯：

former; forward; front; preceding; priority
【醫】 a.; ante-; antero-; fore-; pro-; proso-; ventri-; ventro-

級的英語翻譯：

class; grade; level; o-level; rank; stage; step
【醫】 grade

泵的英語翻譯：

pump
【化】 pump
【醫】 pump

專業解析

前級泵 (Fore Pump / Backing Pump) 在真空技術領域中指用于為高真空或超高真空泵（如擴散泵、渦輪分子泵、離子泵等）創造和維持其正常工作所需預備真空（預真空）的真空泵。它是真空系統的重要組成部分，通常工作在低真空或中真空範圍。

核心功能與作用：
- 建立初始真空：在系統啟動時，前級泵負責将密閉容器（如真空腔室）從大氣壓抽至一個較低的壓強（通常在 10 Pa 到 0.1 Pa 量級），為後續的高真空泵啟動創造條件。高真空泵通常無法直接在大氣壓下有效工作或啟動。
- 維持預備真空：在高真空泵運行期間，前級泵持續工作，抽走高真空泵排出的氣體以及可能通過密封處滲入系統的少量氣體，從而維持高真空泵入口處所需的較低壓強（即預備真空）。這是高真空泵能夠持續産生并維持高真空的關鍵前提。
- 處理大氣體負荷：在工藝過程中（如鍍膜、刻蝕），有時會突然釋放大量氣體。前級泵需要具備足夠的抽速和容量來處理這些瞬時的氣體負荷，防止預備真空壓強過度升高導緻高真空泵性能下降或失效。
常見類型與技術特點：
- 油封旋片泵：利用旋轉的偏心轉子和浸在油中的滑動葉片進行容積壓縮排氣。抽速範圍廣，極限真空較好（可達 $10^{-2}$ Pa），是應用最廣泛的前級泵類型之一。需注意油蒸汽返流問題。
- 幹式螺杆泵：通過兩根非接觸、同步旋轉的螺杆轉子齧合，實現無油的氣體壓縮和輸送。無油污染，維護需求較低，特别適用于對潔淨度要求高的半導體、光伏、分析儀器等領域。極限真空與油封旋片泵相當或略遜。
- 幹式爪式泵：利用兩個非接觸、同步反向旋轉的爪形轉子實現氣體的吸入、壓縮和排出。結構緊湊，無油，但極限真空通常略低于油封旋片泵和螺杆泵。
- 活塞泵 / 隔膜泵：有時用于小型系統或特定應用作為前級泵，但抽速和極限真空通常有限。
- 羅茨泵 (Roots Pump)：雖然本身壓縮比有限，極限真空不高，但因其在低中真空下具有很大的抽速，常被串聯在粗抽泵（如旋片泵）和高真空泵之間作為“增壓泵”，有效提高系統的抽氣效率，減小前級泵的尺寸需求。在這種配置中，粗抽泵（如旋片泵）是最終維持預備真空的前級泵。
關鍵性能參數：
- 抽氣速率：在特定入口壓強下，單位時間内泵能抽走的氣體體積（單位如 m³/h, L/s）。需匹配高真空泵的排氣量要求和系統的氣體負載。
- 極限真空：泵在空載、密封良好條件下能達到的最低穩定壓強。必須低于高真空泵正常工作所要求的入口壓強。
- 最大允許入口壓強 / 最大排氣壓強：泵能安全啟動和持續工作的入口壓強上限，以及能正常排出氣體的出口壓強上限。
- 耐腐蝕性 / 潔淨度：對于處理腐蝕性、易燃易爆、有毒或需要高潔淨環境的工藝至關重要，這推動了幹泵（螺杆泵、爪泵）的廣泛應用。
典型應用領域：
- 半導體制造：光刻、刻蝕、CVD、PVD、離子注入等工藝設備。
- 平闆顯示制造：薄膜沉積、刻蝕設備。
- 真空鍍膜：光學鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜。
- 分析儀器：質譜儀、電子顯微鏡、表面分析儀。
- 科研實驗：高能物理、核聚變、材料科學、空間模拟。
- 真空冶金與熱處理。
- 醫藥與食品包裝。

參考資料：

中國機械工程學會 - 機械工程名詞審定委員會. 《機械工程名詞（真空技術與設備）》[S]. 科學出版社. (權威術語定義來源)
中華人民共和國國家标準 - GB/T 3163 《真空技術術語》[S]. (國家技術标準定義)
《真空設計手冊》[M]. 國防工業出版社. (專業領域權威參考書)
Pfeiffer Vacuum Technology. "Backing Pumps: The Foundation of High Vacuum" [Technical Documentation]. (國際知名真空設備制造商技術文檔)

網絡擴展解釋

前級泵是真空系統中的關鍵設備，主要用于維持主泵（如羅茨泵）的前級壓力低于其臨界值，确保主泵高效運行。以下是詳細解釋：

1.定義與核心作用

前級泵通過降低主泵入口壓力，使其在安全範圍内工作。例如，羅茨泵需要前級泵（如旋片泵、滑閥泵）将壓力降至其啟動阈值以下，避免因常壓啟動導緻電機過載或設備損壞。

2.主要用途

輔助主泵啟動：主泵（如羅茨泵）無法直接在大氣壓下啟動，需前級泵預先抽至低壓環境。
維持氣體流量：及時排出主泵産生的氣體，确保系統壓力穩定。例如，羅茨泵排氣量可能遠超前級泵，但通過壓力與體積流量的動态平衡（如公式 $P_1V_1 = P_2V_2$）實現兼容。
適應不同環境：通過配置水環泵、無油泵等前級泵，可處理含蒸氣或腐蝕性氣體的工況。

3.常見類型

包括旋片泵、滑閥泵、水環泵及立式無油真空泵等，根據主泵需求選擇。

4.與粗抽泵的區别

粗抽泵：用于從大氣壓初步抽真空至主泵可接管範圍。
前級泵：持續維持主泵前級壓力，兩者可能為同一設備，但功能側重點不同。

前級泵通過壓力調控和氣體流量管理，保障真空系統穩定運行。實際應用中需結合主泵參數（如臨界壓力、排氣量）選擇匹配的前級泵類型。