
n. 微電阻器
microresistor(微電阻器)指制造在半導體基闆或薄膜上的微型化電阻元件,是集成電路(IC)和微機電系統(MEMS)中的關鍵無源器件。其核心特征在于通過微加工技術實現尺寸的微型化(通常在微米至亞微米級别),同時保持精确的電阻值控制。
采用薄膜沉積(如濺射氮化钽TaN)或厚膜印刷工藝,在矽、陶瓷等基闆上形成極薄的電阻層。其尺寸遠小于傳統分立電阻,可直接集成在芯片内部,減少電路闆空間占用和寄生效應。
通過光刻、蝕刻等半導體工藝定義圖形,并利用激光修調(Laser Trimming)技術調整電阻值至目标精度(可達±0.1%)。這種工藝确保了高穩定性和溫度系數(TCR)控制。
常用材料包括鎳鉻合金(NiCr)、多晶矽、金屬氧化物等。高性能微電阻需兼顧低溫度系數(如±25 ppm/℃)、低噪聲和高功率密度,適用于精密模拟電路和傳感器信號調理。
“microresistor”是一個由“micro-”(微小)和“resistor”(電阻器)組成的複合詞,通常指微型電阻器。以下是詳細解釋:
由于未搜索到直接文獻,以上分析基于詞源和電子元件領域的常規知識推斷。
competencedrive a hard bargainventriclebetamethasonejobbingmurmuredrotisseriescreaminglyblend ratiodisagree withdredge pumpjunior collegelawn bowlingParis Communerequest forseat cushionshow solicitude fortriaxial compressionvolatile contentarthrodysplasiabisulphateclangorouscycloheptatrienedeanshipditartronateeuphemisticallyficiformhypohypnoticinsipidnessmesogentiogenin