homepitaxy是什麼意思，homepitaxy的意思翻譯、用法、同義詞、例句
常用詞典
n. 同外延，等外延
專業解析
"Homepitaxy"是半導體制造和晶體生長領域中的專業術語，其正确拼寫應為homoepitaxy（中文譯為"同質外延"）。該詞由希臘詞根"homo-"（意為"相同"）和"epitaxy"（意為"外延生長"）組成，指在單晶基底上生長與基底材料相同的晶體層的過程。
核心定義與技術原理
在homoepitaxy過程中，基底材料與生長層具有完全相同的化學成分和晶體結構。例如，在矽晶圓（Si）表面通過化學氣相沉積（CVD）生長單晶矽薄膜。這種技術能精确控制薄膜的厚度、摻雜濃度和缺陷密度，常用于制備高性能半導體器件。
應用領域
- 集成電路制造：用于MOSFET晶體管中高純度矽外延層的生長，可減少晶格缺陷（參考：IEEE Electron Device Letters）。
- 光電元件：在GaAs基底上生長GaAs層以制造激光二極管（參考：Journal of Crystal Growth）。
- 功率器件：通過homoepitaxy實現碳化矽（SiC）器件的高壓耐受層（參考：Materials Science in Semiconductor Processing）。
技術優勢
- 缺陷控制：基底與外延層晶格匹配度高，減少界面位錯
- 摻雜精度：可逐層調控雜質濃度（參考：Applied Physics Reviews）
- 表面平整度：原子級平整表面利于納米級器件加工
行業标準如SEMI F42-0603規範中明确規定了homoepitaxy工藝的質量檢測方法。該技術對摩爾定律的持續推進起到關鍵支撐作用。
網絡擴展資料
“homepitaxy”可能是一個拼寫錯誤或較為罕見的術語。在半導體和材料科學領域，常見的相關術語是homoepitaxy（同質外延）。以下是詳細解釋：
1.Homoepitaxy（同質外延）
指在相同材料的襯底（基底） 上生長單晶薄膜的技術。例如：
- 在矽（Si）襯底上外延生長矽層；
- 在*********（GaAs）襯底上生長*********薄膜。
特點：
- 襯底與外延層材料相同，晶格結構匹配度高，減少缺陷；
- 常用于改善材料表面質量或制備特定器件結構。
2. 對比：Heteroepitaxy（異質外延）
若外延層與襯底材料不同（如藍寶石上生長氮化镓），則稱為異質外延。此時需處理晶格失配問題。
3. 應用領域
- 半導體器件：制造高性能晶體管、激光器等；
- 光電子學：優化材料的光電特性；
- 量子材料：構建超晶格結構。
若您的問題涉及其他領域或具體場景，請提供更多上下文以便進一步解答。
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