
微型图
"microdrawing"是由"micro-"(微小)和"drawing"(绘图)组成的复合词,指代一种精密绘图技术。根据美国国家标准与技术研究院(NIST)的定义,该术语特指在微米尺度(1微米=0.001毫米)进行的图案绘制工艺,主要应用于微机电系统(MEMS)制造领域。
在半导体制造领域,如ASML公司的光刻技术文档所述,microdrawing通常指通过电子束或激光在硅晶圆表面直接绘制纳米级电路图案的工艺,其精度可达10纳米级别。英国皇家工程院的技术报告显示,该技术的关键在于使用聚焦离子束(Focused Ion Beam)在真空环境下进行原子级的材料去除和沉积操作。
《微机械与微工程杂志》的研究论文指出,现代microdrawing技术已发展出多种实现方式,包括但不限于:电子束直写(EBL)、飞秒激光微加工(FLM)和扫描探针光刻(SPL)。根据IEEE纳米技术委员会的标准规范,这些工艺的温度控制精度需保持在±0.1°C范围内,振动幅度不得超过1纳米。
根据海词词典的释义,"microdrawing" 是一个由前缀"micro-"(表示“微小”)和"drawing"(绘图)组成的复合名词,字面含义为“微型图”或“微缩绘图”。该词可能用于描述以下场景:
技术领域
指精密工程、微电子或纳米技术中使用的微型图纸,例如集成电路设计图或微机械结构示意图。
艺术领域
表示通过显微镜辅助创作的超小型艺术作品,或在微小材质(如沙粒、头发)上的绘画。
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