
英:/''fɔːpʌmp/
预抽泵
前级泵
forepump(前级泵)是真空系统中的一个关键组件,主要用于为高真空泵(如扩散泵、涡轮分子泵)创造初始的低真空环境。其工作原理是通过机械方式将气体从真空腔体中抽出,使系统压力降至主泵可高效工作的范围(通常为1-100帕斯卡)。
在半导体制造、航天器模拟舱等工业场景中,forepump常与罗茨泵、旋片泵等类型配合使用。例如美国Parker Hannifin公司的技术文档指出,双级旋片式forepump可达到极限真空度0.06帕,适用于精密镀膜工艺。国际真空科学与技术协会(AVS)发布的《真空系统设计手册》强调,前级泵的选型需考虑气体吞吐量、耐腐蚀性和油蒸气污染控制等核心参数。
根据英国Edwards真空泵分类标准,forepump可分为干式(无油)和湿式(油润滑)两大类别。干式泵更适合洁净度要求高的生物制药领域,而湿式泵在重工业应用中更具成本效益。现代复合分子泵系统已实现forepump与主泵的智能联动控制,通过压力传感器自动调节抽速,该技术被收录于德国普发真空的《先进真空解决方案白皮书》。
forepump 是一个专业术语,主要用于真空技术或工程领域。以下是其详细解释:
如需更详细的技术参数或应用案例,可参考相关工程手册或真空系统文献。
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