
英:/''ɑːsiːn/ 美:/'ɑr'sin; 'ɑr,sin/
n. 胂;三氢砷化
n. (Arsine)人名;(罗)阿尔西内
Typical of the dopant chemistry is the reaction for arsine, which is depicted with the deposition process in Fig. 9.
************的反应是典型的掺杂化学反应,图9显示了该反应的淀积过程。
This article provides the synthesis methods of high purity Arsine by arse nic, zinc and sulfuric-acid. The purity is 99.995%. Total yield reaches 85%.
介绍了用砷、锌和硫酸合成高纯砷烷的方法,产品纯度为99.995%,总收率为85%。
The phosphine and arsine absorb the ultraviolet light much more strongly than does silane, causing them to be deposited out on the walls of the container.
*********和砷化三氢对紫外光的吸收比硅烷强烈得多,因此,它们就沉积在容器的器壁上。
A dual absorbing tower shower containing oxidant and alkaline absorbant was used for removing arsine, phosphorus, sulfur, fluorine, chlorine and oxynitrides.
用椭圆型喷淋吸收塔,氧化剂、碱吸收治理半导体工业废气中砷、磷、硫、氟、氯、氮氧化物及各种酸。
Arsine is an alkenes gas which has extensive use and extremely difficult technology in electronic gases. It is an important sign whether technologically advance of the electronic gases in a country.
砷烷是电子气体中用途十分广泛,技术难度非常大的烷类气体,它是一个国家电子气先进与否的重要标志。
Arsine(砷化氢)是一种无机化合物,化学式为AsH₃,由砷和氢元素组成。它是无色、易燃且剧毒的气体,具有类似大蒜的刺激性气味,但高浓度下可能因嗅觉疲劳而难以察觉。其分子结构为三角锥形,键角约91.5°,分子极性较低。
在工业应用中,arsine主要用于半导体制造中的n型掺杂工艺,通过化学气相沉积法将砷引入硅晶体中。此外,它也曾被用作化学战剂,但因国际公约限制,此类用途已被禁止。
暴露于arsine可能导致急性溶血性贫血、肾功能衰竭和神经系统损伤。职业安全与健康管理局(OSHA)规定其允许接触限值(PEL)为0.05 ppm(8小时加权平均值)。实验室处理需在负压通风橱中进行,泄漏时应使用专业吸附材料并佩戴自给式呼吸器。
参考来源:
Arsine 是一种无机化合物,其化学性质和用途如下:
基本定义
物理与化学性质
主要用途
相关术语
注意:由于其高毒性,实验或工业中需严格遵循安全操作规程。
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