
【計】 silicon backing wafer
silicon
【醫】 Si; silicium; silicon
【化】 facing; gland
矽襯片(Silicon Wafer Substrate)是半導體制造中的核心基礎材料,指用于制造集成電路(IC)和其他微電子器件的單晶矽圓片。其詳細含義可從以下角度解釋:
結構與物理特性
矽襯片是由高純度單晶矽錠切割、研磨、抛光而成的薄圓片,具有原子級平整的表面和特定的晶向(如<100>、<111>)。其直徑常見為150mm(6英寸)、200mm(8英寸)和300mm(12英寸),厚度隨直徑增大而減小(如300mm片約775μm)。矽的半導體特性(如可調控的電導率、良好的熱穩定性)使其成為微電子器件的理想載體。
核心功能
作為“襯底”或“基闆”,矽襯片的主要功能是為後續半導體工藝(如光刻、刻蝕、離子注入、薄膜沉積)提供機械支撐和電學平台。晶體管、電容、電阻等元件直接在矽片表面或近表面層制造,并通過金屬互連層形成複雜電路。
技術分類
根據應用需求,矽襯片可分為:
應用領域
矽襯片是制造CPU、GPU、存儲器(DRAM/NAND)、傳感器、功率器件等幾乎所有現代電子設備芯片的基礎。其質量(如缺陷密度、平整度、純度)直接影響芯片良率和性能。
權威參考來源:
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矽襯片(Silicon Substrate Wafer)通常指以單晶矽(Silicon)為材料制成的薄片狀基底,主要用于半導體、微電子及光電子器件的制造。以下是關鍵點解析:
定義與用途
制造工藝
分類與規格
應用領域
注意:若用戶需具體技術參數或最新進展,建議參考半導體制造手冊或專業文獻。
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