
【医】 surface measurement
surface; exterior; facade
【化】 surface
【医】 superficies; surface
guage; measure; meterage; scale; survey
【化】 measurement
【医】 measurement; mensuration; survey
【经】 calibration; take the gauge of
表面测量(surface measurement)指通过技术手段对物体外层的几何特征或物理特性进行定量分析的过程。该术语在工程制造和材料科学中常指代表面粗糙度、平整度、纹理等参数的量化评估。美国国家标准与技术研究院(NIST)将其定义为"使用标准化方法对表面形态特征的三维表征"(NIST SP 960-12)。
在工业应用中,表面测量主要包含两类方法:
国际标准化组织(ISO)在ISO 25178标准中规定了表面测量的核心参数体系,包括高度偏差、空间频率等指标。中国机械工程学会(CMES)发布的《机械工程术语》将表面测量精度细分为纳米级、微米级和宏观级三个层级。
表面测量是指对物体表面形貌、粗糙度、纹理、几何特征等参数进行定量或定性分析的技术,广泛应用于工业检测、材料科学、精密制造等领域。以下是其核心要点:
表面测量通过物理或光学手段获取物体表面的微观或宏观特征数据。例如,光针式表面测量系统利用垂直扫描伺服工作台,结合光学探针原理采集表面轮廓信息;而机械触针法则通过接触式探测直接获取表面形貌数据。
测量内容包括表面粗糙度、动态张力(如液体表面年龄与张力关系)、几何尺寸(弧度、半径等)及形貌参数(如ISO 25178标准)。应用领域涵盖半导体检测、生物材料分析、精密加工质量控制等。
从单点机械探测转向多点光学扫描,结合数字滤波技术(如FIR滤波器)提升抗干扰能力,并向高速度、纳米级精度发展。
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